加工事業部
株式会社テラテック
| 装備名 | モデル名 | メーカー | 移送距離(X-Y-Z) | 移送計 | 保有台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 垂直型マシニングセンタ | VM1530 | 斗山工作機械 | 3000-1500-950 | 3-Axis | 1 |
| 垂直型マシニングセンタ | MYNX 750/50 | 斗山工作機械 | 1800-750-800 | 3-Axis | 1 |
| 垂直型マシニングセンタ | MYNX 650/50 | 斗山工作機械 | 1300-650-625 | 3-Axis | 1 |
| 垂直型マシニングセンタ | DNM 6700 | 斗山工作機械 | 1300-670-625 | 3-Axis | 3 |
| 垂直型マシニングセンタ | MYNX 6500/50 | 斗山工作機械 | 1270-670-625 | 3-Axis | 1 |
| 垂直型マシニングセンタ | DNM 5700 | 斗山工作機械 | 1050-570-510 | 3-Axis | 2 |
| 垂直型マシニングセンタ | MYNX 500 | 斗山工作機械 | 1000-510-605 | 3-Axis | 1 |
| 垂直型マシニングセンタ | NX 5500 II | 斗山工作機械 | 900-550-500 | 3-Axis | 2 |
| 垂直型マシニングセンタ | LCA 50A | SMEC | 800-520-520 | 3-Axis | 2 |
| 垂直型マシニングセンタ | DNM 400 | 斗山工作機械 | 635-435-510 | 3-Axis | 1 |
| 垂直型マシニングセンタ | AF-1000 | SMEC | 800-520-520 | 3-Axis | 1 |
| 垂直型マシニングセンタ | HM 630 | SMEC | 1000-800-800 | 4-Axis | 1 |
| 装備名 | モデル名 | メーカー | 最大加工鏡(Ø) | 最大加工長(L) | 保有台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 水平型ターニングセンター | PUMA GT 2600 | 斗山工作機械 | Ø460 | 658L | 1 |
| 水平型ターニングセンター | PUMA 280 | 斗山工作機械 | Ø420 | 658L | 1 |
| 水平型ターニングセンター | PUMA GT 2100 | 斗山工作機械 | Ø390 | 562L | 1 |
| 水平型ターニングセンター | PL-25A | SMEC | Ø380 | 530L | 1 |
| 水平型ターニングセンター | PL-10 | SMEC | Ø300 | 320L | 1 |
| 装備名 | モデル名 | メーカー | 移送距離(X-Y-Z) | 最高回転速度(RPM) | 発進周波数(kHz) | 保有台数 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 超音波加工装備(ULTRASONIC MCT) | JUS41-050A | ORIIMEC(Japan) | 400-300-280 | 15,000 RPM | 40kHz | 1 |
| 適用 MATERIAL | AL2O3 / Y2O3 / ALN / SIC / その他ギター 難削材 | |||
|---|---|---|---|---|
| 技術力 | Ø0.1(最小直径)~Ø6(最大直径) | |||
| メリット | 作業速度(15,000RPM)が速く、加工面がキレイでParticleによるArcing Issueを最小化 | |||
| 加工例 |  |
 |
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| 装備名 | モデル名 | メーカー | 移送距離(X-Y-Z) | 移送計 | 保有台数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 接触式三次元測定器 | APEX V 7106 | Mitutoyo | 700-1000-600 | 3-Axis | 1 |
| 接触式三次元測定器 | APEX V 574 | Mitutoyo | 500-700-400 | 3-Axis | 1 |
| ESC機能検査装置 | |
|---|---|
 |
|
メーカー |
オーダーメイド |
機能 |
1. Sic Wafer Chucking & De-Chucking 検査 2. He Flow & Leak 検査 3. 耐電圧及び温度Uniformity 検査 |
| ヘリウムリークディテクター(He Leak Detecter) | |
|---|---|
 |
|
メーカー |
ULVAC |
モデル名 |
Heliot 700 |
Sensivity |
0.1 x 10^-13 Pa.m/s^3 |
| 表面照度計 | |
|---|---|
 |
|
メーカー |
Mitutoyo |
測定範囲 |
0~350um |
評価範囲 |
12.5mm |
検出器測定力 |
0.75mN |
| コーティング(Coating)厚さ測定器 | |
|---|---|
 |
|
メーカー |
DeFelsko / USA |
測定範囲 |
0~1500um(Fe) / 0~1500um(NFe) |
測定単位 |
0.1um |
精度 |
±1um |
| 皮膜厚測定器 | |
|---|---|
 |
|
メーカー |
Elcometer |
測定範囲 |
0~250um |
測定単位 |
0.1um |
精度 |
±1um |
製品規格に合った原材料を準備
ブレージング(Brazing) & 溶接(E-Beam)
接合前形状加工
製作仕様に合わせてブレージング(Brazing) & 溶接(E-Beam)を進行
完成した製品に対する異常の有無を確認(接合部LEAK検査 & 超音波探傷検査)
表面処理(Anodizing)前形状加工
製作仕様に合わせて表面処理(Anodizing)を実施
製作仕様に合わせて形状加工を進行
完成した製品に対する異常
の有無を最終確認
- 寸法検査
- 外観検査
- 機能検査
Repair前、製品のステータス確認
AL BODYに貼り付けられているPolymideフィルムの除去および状態確認(Repairの可否を決定)
表面処理された部分を剥離(Flaking)する。
剥離した部分を加工して平坦度(Flatness & Parallelism)及び表面粗度(Ra)管理
AL BODYの表面処理(Anodizing)実施
ALBODYにフィルムを接合する。
完成した製品に対する異常
有無を最終確認
- 寸法検査
- 外観検査
- 機能検査
高い精度が求められる半導体工程用核心部品[静電チャック(ESC)、シャワーヘッド(Showerhead)、チャンバー(Chamber)、Heater]の加工技術を保有
- ドリリング(Drilling)と超音波(Ultrasonic)を利用した超精密微細穴加工技術
- AL2O3、ALN、SICなどの各種難削材加工
- アルミ(Aluminum)
- SUS、S45Cなどの鉄鋼材
- その他の難削材
- 4M管理
- 工程標準化管理
- 変更点の管理
- 製造工程のノウハウ(Know-How)保有
