装備名	モデル名	メーカー	移送距離(X-Y-Z)	最高回転速度(RPM)	発進周波数(kHz)	保有台数
超音波が空腸比(ULTRASONIC MCT)	JUS41-050A	ORIIMEC(Japan)	400-300-280	15,000 RPM	40kHz	1

適用 MATERIAL	AL2O3 / Y2O3 / ALN / SIC / その他の難削材
技術力	Ø0.1(最小直径)~Ø6(最大直径)
メリット	作業速度(15,000RPM)が速く、加工面がすっきりしていてParticleによるArcing Issueを最小化
加工例