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株式会社テラテック
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    表面処理事業部

    株式会社アミクス

    組織図 設備状況 工程プロセッサー 保有技術力 製品紹介
    会社全景
    • 全生産現場(1)
    • 全生産現場(2)
    • 生産現場(細部) : Soft Anodizing Bath
    • 生産現場(細部) : Hard Anodizing Bath
    • 生産現場(細部) : Oxalic Acid Anodizing Bath
    • 生産現場(細部) : シーリング処理(Sealing) Bath
    • 生産現場(細部) : DI 抽出器
    • 生産現場(細部) : ビーズブラスト(Bead Blast)
    生産支援
    • マスキング(Masking)
    • 品質管理(Inspection)
    • 検査装備 : 耐電圧TESTER
    • 検査装備 : メッキ厚さ測定器(X-Ray)
    • 検査装備 : 液管理分析器(原子吸収分光光度計)
    • 検査装備 : メッキ厚さ測定器(Portable)
    • 検査装備 : フィルム裁断機
    • 検査装備 : 電子顕微鏡
    • 検査装備 : 照度測定器
    • 検査装備 : PH測定器
    アノダイジング PROCESS FLOW(NEW)
    • 01 入庫検査(IQC)

      アノダイジング(Anodiznig)前、製品の状態確認

    • 02 マスキング(Masking)

      特殊フィルム(Film)を使用し
      テーピング作業

    • 03 脱脂(Cleaning) / エッチング(Etching) / 水洗(Rinse)

      製品表面の汚染物除去

    • 04 アノダイジング(Anodizing)

      製品表面に絶縁膜(Insulating Layer)を形成

    • 05 受洗(Rinse)

      アノダイジング表面の
      汚染物除去

    • 06 奉公処理(Sealing)

      アノダイジング表面に薄い
      コーティング膜を形成して耐食性、
      耐摩耗性を向上

    • 07 乾燥(Baking)

      製品を一定時間常温または
      オーブン(Oven)で乾燥

    • 08 最終検査(FQC)

      完成した製品の
      異常の有無を最終確認
      - 被膜の厚さ
      - 表面の粗さ(Ra)
      - 外観

    BEAD BLAST PROCESS FLOW
    • 01 入庫検査(IQC)

      Bead Blast 前、製品の状態確認

    • 02 マスキング(Masking)

      特殊フィルム(Film)を使用し、
      テーピング作業

    • 03 ビーズブラスト
      (Bead Blast)

      表面処理

    • 04 乾燥(Baking)

      製品を一定時間常温または
      オーブン(Oven)で乾燥

    • 05 最終検査(FQC)

      完成した製品に対する異常の
      有無を最終確認
      - 表面粗さ
      - 外観検査

    • アノダイジング
    • アノダイジング・リペア
    • 各種表面処理技術
    • ビーズブラスト

    アノダイジング(Anodizing)

    - ハードアノダイジング(Hard Anodizing)
    - ソフトアノダイジング(Soft Anodizing)
    - シュウ酸アノダイジング(Oxalic Acid Anodizing)

    アノダイジング・リペア(Anodizing Repair)

    - 寿命が終わったESCとチャンバーにへのアノダイジング再生技術を保有
    - アノダイジングが損傷した部分への部分アノダイジング再生技術を保有

    電解研磨の他、各種表面処理技術

    - 電解研磨(Electro Polishing) 工程技術保有
    - 大田放電コーティング(ESD、Electro Static Discharge) 工程技術保有

    ビーズブラスト(Bead Blast)

    - ビーズブラスト(Bead Blast)工程技術保有

    アノダイジングとは?

    製品の酸化を防ぎ耐久性を高めるためにアルミニウム(AL)製品の表面に酸化皮膜(AL2O3)を形成させること。

    アノダイジング(ANODIZING)種類

    種類

    ハード・アノダイジング(Hard Anodizing)

    ソフトアノダイジング(Soft Anodizing)

    シュウ酸アノダイジング(Oxalic Anodizing)

    이미지
    説明 アルミニウム表面の硬度、耐食性、耐摩耗性、電気的絶縁性などの機能的な特性を向上させるために使用される表面処理方法 アルミニウムの保護性と装飾性のための被膜処理方法
    被膜処理後、各種染料による着色が可能なため、装飾性に優れ、製品の高級化に広く使われる表面処理方法
    日本で主に使われる表面処理方法
    純度の高いALに対しては硬度、耐食性など最優秀被膜が得られる。
    特徴 1. コーティング層(Al2O3)が厚い。
    2. 機能的な特性(硬度、耐食性、耐摩耗性など)が格段に向上する。
    1. コーティング層(Al2O3)が薄い。
    2. 腐食防止及び絶縁効果に優れる。
    1. 硬度及び耐食性など最高の機械的強度を得ることができる。
    2. 純度の低いALでも、高い強度の被膜と光沢が得られる。
    3. メンテナンス費用が高い。
    皮膜厚さ(㎛) 25~120㎛ 10~25㎛ 10~100㎛
    表面硬さ(Hv) 250~260Hv(50㎛基準) 150~270Hv(20㎛基準) 300~800Hv(50㎛基準)
    耐食性(塩水噴霧試験) 8,600時間以上(50㎛基準) 5,000時間以上(20㎛基準) 10,000時間以上(50㎛基準)

    Reference(Semiconductor / ESC Chuck)Applied その他

    Reference(Semiconductor / Chamber)Applied その他

    Reference(Semiconductor / Liner)

    Reference(Semiconductor / Heater)